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熊猫体育官网-技术 | 半导体关键制程难题有解了?康泰克温度监测方案强势发布!

发布时间:2025-10-17 发布人:kaiyuan

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康泰克 CONTEC

温度监测方案

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在半导体制造领域中,追求更高良率与更严苛的工艺控制时,实现大规模、高精度且稳定可靠的温度监测是一大核心挑战,但这一过程常饱受诸多如下痛点困扰。

1、通道密度不足,复杂设备需部署上百测温点,传统方案扩展性差、布线复杂。

2、精度与可靠性隐患,外部冷端补偿(CJC)传感器易引入误差,威胁工艺一致性。

3、系统集成成本高,专用DAQ系统昂贵,自研驱动周期长、风险大。

4、扩展维护困难,现有系统难随工艺升级灵活扩展,维护成本高。

Part 1.康泰克直面挑战

推出针对性解决方案

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专为半导体制造优化的4通道热电偶HAT扩展板CPI-SSI-4C,基于Raspberry Pi® HAT标准打造的工业级温度采集核心组件,旨在高效、经济地解决上述痛点,构建未来就绪的温度监测系统。

Part 2.痛点破解之道

CPI-SSI-4C核心优势

提问:通道密度不足?

回答:极简构建32通道高密度系统

单Raspberry Pi®主机可堆叠8块 CPI-SSI-4C,无缝扩展至32热电偶通道;兼容J, K, E, N, R, S, T等主流热电偶,满足从低温到高温的多样化工艺测温需求;HAT设计极大简化物理连接与布线,显著节省控制柜空间,轻松覆盖复杂设备的多点监测需求。降低系统复杂度,提升空间利用率,快速响应大规模测温需求。

提问;精度漂移与可靠性隐患?

回答:集成式高精度CJC与工业级设计

板载精密温度传感器实现自动、高精度冷端补偿(CJC),彻底消除对外部CJC传感器的依赖;减少接线点与潜在故障源,从源头提升长期测量稳定性与数据可靠性;元器件选型与电路设计遵循工业标准,确保在半导体设备严苛环境下持续稳定运行。保障关键工艺温度数据的准确性与可信度,减少因测温误差导致的批次异常和良率损失。

提问:系统集成复杂度高?

回答:成熟Linux驱动与专业API

提供开箱即用、稳定可靠的Linux驱动程序及API-SSI (LNX)应用编程接口;开发团队可基于此快速构建定制化的温度监测、超限报警、数据记录与闭环控制应用,大幅缩短开发周期;API设计简洁高效,降低集成难度与后期维护成本。加速系统部署,降低开发风险与总拥有成本(TCO),释放工程师生产力。

提问:维护与可扩展性?

回答:模块化、标准化、灵活扩展

基于Raspberry Pi® 生态的开放性与CPI-SSI-4C的模块化设计,支持按需增购板卡,轻松扩展通道数;标准HAT接口与统一驱动,确保新旧模块无缝兼容,简化维护与升级。提供面向未来的可扩展性,适应工艺迭代需求。

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Part 3.量身定制

赋能半导体关键制程

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薄膜沉积(CVD/PVD)/扩散炉的多区域温场监控,保障薄膜均匀性与掺杂浓度;优化蚀刻/清洗设备的反应腔与管路温度,提升工艺选择比;减少晶圆测试探针台热应力导致的测试误差;设备温度趋势分析实现预测性维护,提升OEE。

立即联系康泰克技术团队,获取详细规格书与应用案例,探讨如何为您的关键设备部署高可靠温度监测解决方案!

-END-

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